SEMI S2認證和遵守法規(guī)的途徑
對于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半導體制造設備的環(huán)境，健康和安全指南》。
實際上，其他產(chǎn)品安全準則可以視為支持S2。面向職業(yè)健康和安全的指南通常與制造商無關。
SEMI S2認證指南是由SEMI行業(yè)的領導者制定的，以確保每臺設備都符合法規(guī)要求，并經(jīng)過嚴格的安全標準檢查。主要包括消防，電氣危險防護，減輕機械危險，化學，輻射，噪聲和人體工程學危險，通風要求，緊急停機程序，排氣規(guī)格，危險警告警報和標簽，文件要求等。
S2評估通常是買家作為保障的要求，并且可以作為出售的條件。
SEMI S2標準涵蓋了半導體制造設備的環(huán)境、健康及安全條件，是一個綜合性的標準。代表了半導體廠家的基本安全要求，而半導體行業(yè)離不開特種氣體。
因為半導體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學品及電氣、廠務、游離及非游離的輻射，所以在設備廠商進行設計時要引入SEMI S2標準，也即為EHS標準。這一點是非常重要的，如果處理不好，下游用戶在使用是時候就很容易導致事故甚至災難。
SEMI S2認證評估
在電氣/機械安全，化學暴露評估，通風，噪聲，電離輻射，非電離輻射，激光，環(huán)境影響評估以及SEMI S2認證指南要求的其他專業(yè)領域通常SEMI S2評估將需要以下評估以支持核心S2評估：
提供給用戶的文件
危險警告標簽
安全聯(lián)鎖系統(tǒng)
緊急關機
電氣設計
防火保護
加熱化學浴
人機工程學和人為因素
危險能量隔離
機械設計
抗震保護
自動化物料搬運員
環(huán)境考量
排氣通風
化學制品
電離輻射
非電離輻射和場
鐳射 放射性物質(zhì)
聲壓等級
SEMI S2在認證中綜合考慮了與設備相關的使用者文件、危險性警告標志、安全連鎖裝置、緊急停機、電氣安全、消防安全、人體工學、危險能量隔離、機械設計安全、地震保護、自動機械設備、環(huán)境因素、排氣、噪音等內(nèi)容。以確保設備本身安全及對環(huán)境、對人員的安全性。